гласованием, если половина толщины диэлектрика коаксиального волновода £)/2 приблизительно равна высоте подложки h микрополосковой линии, а диаметр внутреннего проводника коаксиальной линии в месте его соединения с печатным проводником равен щирине последнего. В ИС СВЧ с использованием подложек толщиной 0,5 и 1 мм удобно использовать коаксиально-полосковые

Яоансиальиыи волновод Переход

Миирополооиовая линия

Рис. 10.61. Коаж1сяальнонпожжж.авы€ переходы: с - саосный; б - перпевдинулярный

переходы с сечением коакоиала, равном 1,75/0,75 мм или 3j5/l,5 мм. Герметизация такого разъема осуществляется с помощью металлостеклянного спая, в котором центральная жила и корпус разъема вместе с диэлектрическим заполнением представляют собой согласующиеся по ТКЛР материалы, например ковар - кварцевое стекло. В некоторых случаях используется глухая заделка коаксиального кабеля на микрополосковую линию: центральная жила кабеля припаивается к проводнику печатной линии, а экран коаксиального кабеля соединяется с корпусом модуля.

Если разработчик располагает стайдартной измерительной аппаратурой, имеющей коаксиальные разъемы сравнительно большого сечения, то для согласования сечение стандартного коаксиала постепенно уменьшают вдоль оси при сохранении постоянного волнового сопротивления в любом сечении до тех нор, пока размеры поперечного сечения коаксиала и микрополосковой линии не станут соизмеримыми. Такой коаксиальный переход со стандартного на меньшее сечение может быть плавным или ступенчатым. С одной стороны он оканчивается стандартным коаксиальным разъемом, а с другой - контактом для присоединения к полосковому проводнику. В месте этого контакта может появиться нерегулярность из-за неравенства диаметра внутреннего коаксиального проводника и ширины полоски, наличия зазора между диэлектриком коаксиала и диэлектриком подложки, неточного совмещения контактного лепестка с полоской и т. д. С целью компенсации возникающих неоднородностей конструкция перехода несколько видоизменяется: центральная жила коаксиального кабеля заостряется до тех пор, пока ее ширина не становится равной ширине полоски; на конце внутренней жилы коаксиального

кабеля может быть закреплена металлическая полоска, ширина которой равна или меньше ширины полоскового проводника.

Если волновые сопротивления и размеры коаксиального кабеля и полосковой линии сильно отличаются друг от друга, то используются перпендикулярные переходы (рис. 10.61,6). Согласование такого коаксиально-нолоскового перехода выполняется с помощью диафрагмы в заземленной пластине (см. рис. 10.61,6) (подбором диаметра отверстия в экране) и выбором длины короткозамкнутых или разомкнутых шлейфов. Следует отметить, что из-за необходимости сверления отверстий в заземленной и диэлектрической пластинах перпендикулярный переход оказывается неуниверсальным, сложным при изготовлении и сборке.

При переходе с волновода на полосковую линию передачи происходит преобразование одного вида колебаний в другой: как правило, преобразование волны Ню волновода в Т-волну полосковой линии. На рис. 10.62,а показана конструкция перпендику-

Рис. 10.62. Волиоводно-полооковые -переходы: а - перпендикулярный переход от аимметричной полоаковой линии к волноводу; б ---Соосный волноводно-микрополооковый переход

лярного перехода от волновода к симметричной полосковой линии. В волновод / через отверстие 2 в его широкой стенке погружены диэлектрические платы с центральной полоской. Согласование перехода осуществляется изменением ширины полоскового проводника в волноводе, глубины погружения центральной полоски в волновод (расстояние h) и перемещением короткозамыкающего поршня 3 в волноводе (расстояние /г).

На рис. 10.62,6 показана конструкция соосного перехода от микрополосковой линии к волноводу, в волноводе прямоугольного сечения имеется П-образный плавный переход 1, который соединяется с микрополосковой линией 2.

При переходе от щелевой линии к коаксиальному кабелю (рис. 10.63) конец центральной жилы коаксиального кабеля присоединяется к одной металлической плоскости, а внешняя экранная оболочка кабеля - к другой плоскости щелевой линии.

На рис. 10.64,g показано соединение двух микрополосковых линий с помощью полуволнового щелевого резонатора, выполненного в общем слое металлизации этих линий, расположенных зер-

кально друг относительно друга. Проводники линий перпендикулярны оси щели и заканчиваются разомкнутыми четвертьволновыми шлейфами. Связь линий осуществляется по составляющим магнитных полей, направленным вдоль резонатора.

Рис. 10.63. Соединение щелевой линии с иожсиаль-яым кабелем

Рис. 10.64. Переходы между печатными линиями:

а - от микрополосшвой 1 к мик,раполооковой 2; б--от микрополооковой 8 к щелевой 4; 5-полуволновый щелевой резонатор

Помимо тарих переходов, называемых щелевыми, применяются также шлейфные переходы, в которых выравнивание потенциалов на соединяемых миниатюрных линиях передачи осуществляется с помощью разомкнутых или короткозамкнутых шлейфов. Примером такого соединения является переход от щелевой к микрополосковой линии передачи (см. рис. 10.64,6). Эти линии, расположенные по разные стороны подложки, пересекаются под .прямым углом и выступают на четверть длины волны за точку пересечения. Микрополосковая линия разомкнута, а щелевая линия короткозамкнута на конце. Ширина полосы пропускания такого перехода более 30% по уровню Кст1.1-

При сборке микросхем, расположенных на различных подложках, применяются соединители в виде перемычки из золотой проволочной сетки или твердой металлической ленты, привариваемой к проводникам соединяемых микросхем.

10.19. СБОРКА МИКРОСХЕМ

Внутренний монтаж ИС СВЧ включает установку и закрепление микросхемы в корпусе, соединение плат и выполнение внутренних электрических соединений. Для соединений применяют термокомпрессионную, контактную, ультразвуковую, электроннолучевую и лазерную сварку, пайку, склейку, а также механическое соединение.

Полупроводниковые приборы по отношению к линии передачи могут монтироваться параллельно или последовательно. При параллельном монтаже выводы элемента соединяются с заземлен-